工业废水中的挥发性溶解物质例如挥发性酚、甲醛、硫化氢、氨、氰化氢等，可用蒸汽汽提法从废水中分离出来。蒸汽汽提法通常是在密闭的塔内进行。汽提塔有填料塔、泡罩塔、筛板塔、浮阀塔等多种形式，其中以浮阀塔的传质效果和操作条件较好，在化工部门中已广泛使用。废水经加热后由塔顶送入，从塔底通入水蒸汽，当水溶液的蒸汽压超过外界压力时，废水开始沸腾，加速挥发性物质由液相转入气相的过程。另一方面，当水蒸汽以气泡形态穿过水层时，水和气泡表面之间形成自由界面，这时液体就不断地向气泡内蒸发扩散，当气泡上升到液面时，气泡破裂，释出其中的挥发性物质，大量水蒸汽气泡显著扩大了水的蒸发面，加强了传质过程。废水中的挥发性溶解物质不断地随蒸汽由塔顶排出，而处理后的废水由塔的底部排走。通常一次简单的汽提不能将溶质完全从废水中分离出来，往往需在汽提塔内连续进行多次。下图为利用蒸汽汽提法处理炼油厂含硫废水的工艺流程。

蒸汽汽提法流程

蒸汽汽提法在工业废水的回收利用方面已有很多成功的经验。例如用汽提法处理含挥发性酚2000mg/L以上的废水，可使出水中的挥发性酚降低到400mg/L以下，含酚的蒸汽则与苛性钠溶液生成酚钠盐回收; 处理含硫化物1000～2000mg/L的废水，出水中的硫化物可降至10～30mg/L，含硫化氢的蒸汽送入回收系统可制取硫磺或硫化钠;处理含氰化氢150～200mg/L的废水，出水中的氰化氢可降低至30mg/L左右，回收的氰化氢可制成黄血盐钾或黄血盐钠。